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クリーンモジュールユニット

トーアメックでは、パナソニックエコシステムズ株式会社製のFFU(ファンフィルタユニット)を取り扱っております。用途に応じ様々な仕様で製品をご提供いたします。是非、お問合わせ下さい。

クリーンモジュールユニット

パナソニックエコシステムズのクリーンモジュールユニットをご紹介しています。

半導体製造装置・FPD装置・クリーンブース・クリーンベンチ・ストッカー・クリーントンネル等々、クリーン化には欠かすことのできない非常に重要な機器です。
パナソニックエコシステムズ株式会社が長年送風技術で培った技術をふんだんに発揮し、モータ・羽根・制御・フィルタ・チャンバー部まで全ての部材を内製部材で仕上げ、長年の実績と磨きをかけた、業界トップクラスのFFU(ファンフィルターユニット)です。

主な特長
  • DCタイプは海外規格取得に一番近い条件を満たしており「半導体製造装置」への搭載には非常に有利です。
    ※装置にて海外規格取得される場合FFU部分の支援が可能です。
  • お客様の条件に合わせて幅広い特注に対応可能です。
    【特注事例】
    ※サイズ変更・搭載モータ数の変更や異電圧仕様・搭載フィルタの変更やケミカルフィルタの搭載。 他にも数々の特注対応が可能ですが詳細は別途ご相談ください
  • 豊富な品揃え
  • 特注品であっても短納期対応が可能
製造範囲
FFU製造範囲
  製造可能サイズ範囲(H×W:mm) MAX風量範囲(m3/min)
ACタイプ (240×240)~(1000×1800) 約1.0~45.0
DCタイプ (400×400)~(1000×1800) 約1.5~66.0

※製造サイズ範囲と風量との関連はお問い合わせください
注)・風量はHEPAフィルター搭載時の値です ・DCタイプは36V供給時です

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営業第1課

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